大理石平尺的精度参数称为平面度，用直线度来表征。这是考虑到直线度与平面度本是一个范畴。在给定平面内直线度是指圆柱或圆锥体母线、刀刃直线以及平面在一定方向上的形状误差；平面度是指平面在任一方向上多个截面直线度综合其相关联系而得到的形状误差。又由于研磨面平尺主要用其平面来检定刀口形直尺的直线度，且研磨面平尺长度比起它的宽度大得多，故研磨面平尺工作面是一个窄而长的平面，它长度方向的形状误差比其宽度方向的形状误差大得多，因此可将长度方向上的直线度看成是研磨面平尺工作面的平面度，所以规程称其为平面度，数据按直线度处理。